D07-15小流量氣體流量計用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。
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D07-15氣體質量流量控制器 產品簡介:
★高穩流型★小體積,低波動★橡膠密封、模擬電路的MFC★采用P20金手指插頭
D07-15氣體質量流量控制器用途: 質量流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業。D07-15氣體質量流量控制器技術參數:
產品型號
D07-15
產品類型
普通型
流量量程
5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm
產品精度
±1%F.S.
重復精度
±0.2% FS
線性
±0.5% F.S.
響應時間
≤4sec
工作溫度范圍
(5~45)°C
耐壓
3MPa
密封材料
氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon
輸入輸出信號
(0~5)VDC
電源
±15V
閥類型
常閉
溫度系數
- 無 -
零點飄移指標
電氣連接
P20 Card Edge
工作壓差范圍
(0.1~0.3) MPa
漏率
1×10-8atm•cc / sec He(1×10-9 Pa•m3 / sec He)
標準接頭形式
雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,VCR1/4”,雙卡套1/4”
表面化學成分
表面粗糙度
抗電磁干擾
重量
0.85Kg