D07-7K 氣體質量流量控制器 氧氣流量計用途: 質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精 密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業。
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★高性能價格比、普通型產品
★橡膠密封、模擬電路的MFC
★7A型的更新換代型
★管狀分流，使用壽命長
D07-7K 氣體質量流量控制器 用途: 質量流量控制器（MFC）用于對氣體的質量流量進行精 密地測量和控制。廣泛用于電子工藝設備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制 氣配氣等行業。D07-7K 氣體質量流量控制器 氧氣流量計技術參數：
產品型號 D07-7K 產品類型 普通型 流量量程 20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm 產品精度 ±1％F.S. 重復精度 ±0.2% FS 線性 ±1％F.S. 響應時間 ≤4sec 工作溫度范圍 (5~45)°C 耐壓 3MPa 密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene 輸入輸出信號 (0~5)VDC 電源 ±15V 閥類型 常閉 溫度系數 - 無 - 零點飄移指標 - 無 - 電氣連接 D sub 15 pins Female 工作壓差范圍 (0.1～0.5) MPa 漏率 1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He） 標準接頭形式 雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭 表面化學成分 - 無 - 表面粗糙度 - 無 - 抗電磁干擾 - 無 - 重量 1.1Kg
產品型號
D07-7K
產品類型
普通型
流量量程
20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm
產品精度
±1％F.S.
重復精度
±0.2% FS
線性
響應時間
≤4sec
工作溫度范圍
(5~45)°C
耐壓
3MPa
密封材料
氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene
輸入輸出信號
(0~5)VDC
電源
±15V
閥類型
常閉
溫度系數
- 無 -
零點飄移指標
電氣連接
D sub 15 pins Female
工作壓差范圍
(0.1～0.5) MPa
漏率
1×10-8atm•cc / sec He（1×10-9 Pa•m3 / sec He）
標準接頭形式
雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ3,雙卡套1/8”,φ4(內)×1軟管接頭,VCR1/4”,雙卡套1/4”,φ6(內)×1軟管接頭
表面化學成分
表面粗糙度
抗電磁干擾
重量
1.1Kg
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